Local slurry supply system

  • ESDS Multi tank type

    簡易型研磨液及化學液供應系統 : 事先混合好相應比例之研磨液或化學液後，倒入供應槽內，啟動供應系統，供給CMP製程使用。極適合實驗室類型之小型供液應用。

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  • ESDS

    簡易型研磨液供應系統 : 事先混合好相應比例之研磨液後，倒入供應槽內，啟動供應系統，供給CMP製程使用。極適合實驗室類型之小型供液應用。

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