Mirra 200 series

  • Mirra 3400 CMP 200mm

    Miira CMP ，適用於氧化層， 鎢、 銅的晶圓平坦化研磨。

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  • Mirra-Mesa CMP 200mm

    Miira CMP 適用於氧化層、鎢、銅的晶圓平坦化研磨，且搭配整合 Mesa 清洗機，能有效洗淨研磨後的晶圓。

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  • Mirra-ONTRAK CMP 200mm

    Miira CMP 適用於氧化層、鎢、銅的晶圓平坦化研磨，且搭配整合ONTRAK清洗機，能有效洗淨研磨後的晶圓。

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